四合院：我是雨水表哥
第471章 晚霞行千里

有了第一个电机制造成功的经验，吕辰等人又相继制造了十三个电机。

按照GCA201CGS光刻机的工作配置需求，工件台的X轴、Y轴，掩模台、Z轴、微动台等都可能需要。

顶着工业陶瓷和冶金材料研究中心研究员幽怨的眼神，他们掏空了所有的钐、钴样品材料。

受限于钐钴合金材料的稀少，无法大规模生产，但是他们还尽可能制造了两到三套。

钱兰整理了全套设计图纸，包括材料参数、工艺要求，特别是电机绕组的工艺和机构。

组装好的电机本体直径42mm、长100mm，看上去像一个银灰色的圆柱体，握在手里四根手指刚好能包住。

送别森格顿珠那天早上，北京站的报春花开了一枝。

吕辰递给他一个帆布包，包里装着一个电机、两条前门烟和一包点心，还有一份用牛皮纸袋封好的图纸。

“森格顿珠师傅，这是其中一个电机，还有它的全套设计图纸，复制了一份，您带着。”吕辰说，“材料参数、工艺要求、绕组方法，都写在里面了。”

森格顿珠接过纸袋，没打开，就那么攥着。

“小吕，这……”

“刘教授出差在外，不能专门感谢您，他专门交待，感谢成飞132厂和您对星河计划的支持，您老远来一趟，不能空着手回去。”吕辰笑了笑，“这技术搁我们这儿，也就是用在光刻机上。搁你们成飞，说不定能用在更重要的地方。”

吕辰又从包里拿出一个牛皮纸信封：“这是丘书记为您申请的出差补贴，不多，一点心意。”

森格顿珠默了几秒，他把信封小心地塞进帆布包最底层，然后抬起头。

“小吕，诸葛，钱姑娘。”他声音还是那么低沉，“我在北京这一个多月，学到的东西，比在厂里五年都多。”

他顿了顿：“不是技术。是你们这股劲儿。碰到难事，不躲，不绕，就硬碰硬地干。干成了，也不藏着，还想着给别人用。”

他伸出手，和吕辰握了握，又和诸葛彪、钱兰分别握了握。

“以后到成都，到我家来。我让我媳妇给你们做酥油茶，喝青稞酒。”

汽笛响了，森格顿珠双手合十：“扎西德勒!”

“扎西德勒!”

他拎起帆布包，转身走到车门口，回头看了一眼，冲他们挥了挥手。

然后消失在车厢里。

火车缓缓开动，车轮碾过铁轨，发出有节奏的轰隆声。

吕辰三个人站在月台上，看着那列绿皮火车越走越远，最后变成一个点，消失在晨雾里。

“走吧。”诸葛彪点上一根烟，“回去干活。”

第二批高频脉冲电机的芯片，是在森格顿珠走后的第四天送到的。

那天下午，柳工亲自把芯片送到验证室。

专用芯片箱子里垫着海绵，六十颗芯片整整齐齐码在凹槽里，陶瓷封装，两排引脚，在灯光下闪着金属的光泽。

“GPMC01，第二批。”柳工把木盒往桌上一放，“60颗，你们慢慢测。”

吕辰拿起一颗，对着灯光看了看。

封装的表面是用丝网印着的字迹，白色的小字，清晰工整。

“谢了，柳工。”

柳工摆摆手，走了。

接下来三天，三个人又过上了暗无天日的日子。

测试台架重新搭起来，电源、示波器、信号源、负载板，一一接好。

第一颗芯片插上去，通电，测静态电流——正常。

输入测试向量，测功能——通过。

测速度，跑最高频率——达标。

测功耗，长时间运行——稳定。

“一颗好的。”诸葛彪在记录本上画了个勾。

第二颗，同样流程——好的。

第三颗——好的。

第四颗——好的。

测到第十颗的时候，钱兰停下笔，看着记录本上那一排勾，有点不敢相信。

“十颗了，全好？”

诸葛彪也愣了愣，把嘴里的烟拿下来，盯着测试台。

“再测。”

第十一颗——好的。

第十二颗——好的。

一直测到第十七颗，终于碰到一颗坏的。

输入短路，电流直接打到底。

“总算有坏的了。”诸葛彪松了口气，反而笑了，“不然我还以为见鬼了。”

六十颗芯片全部测完，钱兰把记录本摊在桌上，一页一页翻过去，最后在最后一页写下统计结果：

总片数：60片

功能完好：37片

局部故障：14片（多为个别引脚失效或速度略低）

完全失效：9片（短路、击穿、开路）

良率：61.7%

她把本子转过来，让吕辰和诸葛彪看。

“37颗能用。”她说，“比上一轮8颗，翻了四倍多。”

诸葛彪点上一根烟：“不枉我等当了一回反面教材，要是再不成，我都不知道怎么抬起头来了。”

钱兰也有点感慨：“这几乎是设计和工艺的推倒重来，有这样的提升在情理之中。”

吕辰拿起一颗好的芯片，在手里转了转：“万事俱备，就等光栅尺和脉冲发生器了。”

光栅尺是在三月底送到的，长光所的吴高工亲自送来，拎着一个木头箱子，像拎着宝贝似的。

他把箱子放在桌上，打开搭扣，掀开盖子。

里面垫着厚厚的绒布，两把玻璃尺躺在绒布凹槽里，尺身细长，透明，像两条冰做的尺子。

“吕工，这是你们要的光栅尺。”

吴高工介绍：“主尺250毫米，副尺150毫米。刻线密度每毫米100线，配合四细分，分辨率能到1.5微米。”

吕辰凑近了看，玻璃尺的表面，密密麻麻刻满了线条，细得像头发丝，用肉眼几乎看不清，只能在光线下隐隐约约看见一道道反光。

“这怎么刻出来的？”诸葛彪眼睛都快贴上去了。

“电子束刻。”吴高工骄傲的说道，“这可是我们所的独门技术，王先生说了，这一根尺子，外国人也就这水平，可惜读数头精度差了点，不然能到亚微米级。”

这的确值得骄傲。

吕辰道：“长光所果然名不虚传，您不如等几天，我们测试好了，把电机给您一起带回长光所。”

吴高工摆摆手：“你们慢慢测，如果不是要找陈副所长拿GCA201CGS的使用反馈，我是根本没时间跑这一趟的，第二代光刻机已经进入具体的方案论证环节，我的时间非常紧，陈副所长会亲自到长光所参与光刻机的研制，你们测试好后，到时候请他带来就可以了。”

长光所的人还是习惯称呼陈光远为副所长。

脉冲发生器是秦世襄教授的学生送来的，比光栅尺晚了两天。

是一个小盒子，里面是一块pc电路板，用旧报纸包着，外面缠着麻绳。

打开盒子，电路板露出来，巴掌大小，上面焊着石英晶体、三极管、电阻电容，手工布线，整整齐齐。

板子一角贴着一张白胶布，上面用钢笔写着三个字：脉冲源。下面还有一行小字：32.768kHz，±5ppm。

“±5ppm。”诸葛彪念叨了一句，“一百万次只差五次，这精度……”

他把板子翻过来看背面，焊点圆润饱满，走线规整得像印刷上去的。