四合院：我是雨水表哥
第471章 晚霞行千里

“西军电的人，手真稳。”

验证室被腾空了一半。

实验台靠墙摆开，从左到右依次是：脉冲发生器、示波器、GPMC01验证板、电机驱动板、电机本体。

电机旁边架着一个简易工装，是请任长空搭建的。

一块铸铁平板，上面立着一根丝杠，丝杠上套着滑块，滑块上固定着读数头。

丝杠顶端装着一个手轮，摇动手轮，丝杠转，滑块上下移动。

光栅尺的尺身固定在工装上，读数头固定在滑块上。

滑块一动，读数头划过尺身，两路正交脉冲就出来了。

“先把手转跑通。”吕辰说。

诸葛彪坐到工装前，右手握住手轮，左手扶着滑块，像准备做什么精细手术似的。

“慢点转。”钱兰在旁边盯着示波器。

诸葛彪轻轻转动手轮，丝杠转一圈，滑块走4毫米。

读数头划过光栅尺，示波器上开始跳波形。

两路方波，一前一后，像两个错开半步的士兵。

“相位差90度。”钱兰盯着波形，“方向能判了。”

诸葛彪又反转手轮，两路波形的顺序立刻颠倒过来。

“好。”吕辰说，“尺子没问题。”

接下来是脉冲发生器。

接通电源，石英晶体开始震荡。

示波器上出现一条稳定的方波，32.768千赫，占空比50%，方方正正，边缘陡得像刀切的一样。

诸葛彪盯着那条波形，愣了几秒，然后嘟囔了一句：“西军电的东西，真稳。”

验证板是重新搭建的，GPMC01芯片插在电路板上，周围密密麻麻焊着电阻电容、胶合逻辑，飞线整齐了许多，红的、黄的、蓝的，走得规规矩矩，该拐弯拐弯，该固定固定，贴着标签，一点都不乱。

吕辰拿起一份手写的程序清单，几十行指令，对应着芯片内部的微代码。

那是他熬了两个通宵编的，把“心跳程序”翻译成芯片能懂的0101。

他深吸一口气，蹲下去，把程序清单放在地上，然后开始拨动验证板上的开关。

一排八个开关，对应八位数据。

他看一眼清单，拨第一组：01。

按一下“写入”按钮。

再看清单，拨第二组：02。

再按“写入”。

00 01 02 03 04 05……

每拨一组，按一次写入。

四十分钟后，一百二十八条指令全部写进芯片。

吕辰站起来，腿都有点麻。

他扶着桌子，活动了一下膝盖：“通电。”

诸葛彪合上闸刀。

示波器屏幕亮起来，数字表开始跳。

验证板上，几盏指示灯开始闪烁。

慢闪三次，快闪五次，然后灭掉。

过了一秒，又重复一遍。

“心跳程序跑通了。”钱兰松了口气，“芯片活着。”

吕辰点点头，这才刚刚开始：“把脉冲接进去。”

诸葛彪拿起一根信号线，一头插在脉冲发生器的输出口，一头插在验证板的一个输入引脚上。

示波器上，那条32.768千赫的方波，被芯片“看见”了。

“光栅尺。”

诸葛彪又拿起两根线，把光栅尺的两路正交信号，接到另外两个输入引脚上。

然后他坐回工装前，握住手轮。

“开环先跑一下。”

转动手轮，滑块上下滑动，读数头划过光栅尺，脉冲信号源源不断地送进芯片。

示波器上，除了时钟方波，又多出两路位置脉冲。

钱兰盯着数字表，那上面显示着芯片算出来的当前位置。

“4.237毫米……移动方向……正向……速度……”

她念着数字，声音越来越小，像怕惊扰了什么。

诸葛彪继续转手轮，滑块走到顶端，又走回来。

数字表上的数字跟着变，从大到小，从小到大，每一步都跟得上，每一步都对得上。

“芯片把位置算对了。”钱兰说。

吕辰盯着示波器看了几秒，然后说：“换闭环。”

诸葛彪拨动一个开关。

芯片的输出信号开始驱动电机。电机嗡嗡响起来，丝杠开始自动转动，滑块向上爬升。

吕辰在验证板上拨了一个数字：10.000。

那是目标位置，单位毫米。

芯片程序里预设了这个目标。

电机继续转，读数头一路跟着，脉冲信号不断反馈回芯片。

数字表上的数字一路跳。

9.847……9.921……9.973……9.991……9.997……

越来越接近10.000。

最后停在9.999毫米。

误差1微米。

三个人盯着那个数字，谁都没说话。

示波器上，波形还在跳，方波整整齐齐，一列一列，像士兵的脚步。

电机嗡嗡地响着，声音低沉稳定，像一头刚刚被驯服的野兽。

诸葛彪咽了口唾沫，烟叼在嘴角，半天没点。

“再试一次。”他说，声音有点哑。

吕辰把目标改成25.000毫米。

电机又转起来，丝杠嗡嗡嗡，读数头一路向上，停在25.001毫米。

误差还是1微米。

钱兰轻轻吸了一口气：“精度够了，GCA201CGS光刻机工作台的要求，就是正负五微米，这远远达到了要求。”

吕辰又拨了一个数字，目标0.1毫米。

电机轻轻一抖，丝杠几乎看不出动，读数头微微挪了一点点。

数字表从25.001往下跳：25.001……24.998……24.995……

最后停在25.000毫米。

移动量0.001毫米，1微米。

诸葛彪把烟叼上，没点，就那么叼着，愣愣地看着那个数字。

“成了。”他说，烟在嘴角抖了抖，“真成了。”

钱兰长长地吐了口气，肩膀塌下去，整个人像被抽走了骨头。

吕辰站着，盯着那个数字，看了很久：“再试一次。”

诸葛彪又试了一次，目标改成50毫米。

电机转，滑块走，停在——49.998毫米。

误差两微米。

“再试。”

目标0.05毫米。

电机轻轻一抖，滑块几乎看不出动，数字表慢慢跳，最后停在50.000毫米。

误差零。

三个人盯着那个数字，谁都没说话。

过了很久，诸葛彪把烟点上了。

他狠狠吸了一口，然后吐出来，烟在空气中慢慢散开。

他指了指那个还在转的电机：“森格顿珠师傅走早了，他应该亲自见证。”

钱兰笑得眼睛有点红：“我写信告诉他。”

接下来几天，他们又搭建了一个更复杂的模拟系统。

一张两尺见方的铸铁平板，上面架着X轴和Y轴两个滑台。

每个滑台都由一个电机驱动，丝杠传动，光栅尺反馈。

X轴行程200毫米，Y轴行程150毫米。

他们把长光所送来的两把光栅尺都装上了，X轴一把，Y轴一把。

重新焊出来两个驱动板，每块板子上一个GPMC01芯片，专门控制一个轴。

控制程序写在二维卡上。

80*80的点位里，存着工件台的初始位置参数，然后是一串指令：

X轴正向，移动20毫米，停3秒。

X轴正向，再移动20毫米，停3秒。

重复7次。

然后Y轴正向，移动20毫米，停3秒。

再重复X轴的那一串，如此循环。